目前，智能家居中的传感器基本上是集成传感器。集成传感器是经济高效且易于使用的小型传感器，它是通过使用集成电路技术将半导体敏感组件和测量处理电路集成在芯片上而制成的。使用集成电路技术和微加工方法，可以将基于各种物理效应的机电敏感组件和处理电路集成到芯片上，从而制成微机电系统（MEMS）传感器。传感器的敏感结构的尺寸可以达到微米和亚微米水平，并且可以大量生产。它具有体积小，重量轻，响应速度快，灵敏度高和成本低的优点。我国的MEMS行业处于世界领先地位，其中包括我们中国人在美国登上火星的火车上发明的传感器。 MEMS加速度计和压力传感器已在汽车行业广泛使用，就像智能家居中的多合一功能一样。检测传感器是MEMS的典型应用。 MEMS不仅依赖于电子技术，而且还依赖于加工技术。新技术和新工艺的发展，例如集成电路技术和微加工技术，为传感器的集成和小型化提供了可能性。通过微机械加工技术制成的敏感组件的尺寸通常在微米级别。使用各向异性腐蚀，牺牲层技术和LIGA技术（即光刻，电铸和注塑），可以在层之间产生较大的间隙。不同的三维微观结构，包括可动膜片，悬臂梁，桥和槽，孔，锥等。敏感结构和检测电路的单芯片集成技术可以避免引线在多路传输过程中引入的寄生效应。芯片组装，提高了设备的性能，并提高了抗干扰能力。与传统传感器相比，采用微电子技术和微加工技术制造的微型传感器具有体积小，重量轻，成本低，功耗低，可靠性高，适合批量生产的优点。易于集成和智能实现的特性在确定智能家居中的系统方面发挥了作用。