SK Hynix宣布在建的M14和M16工厂引入EUV光刻机后，三星不能坐以待still。据三星称，自2014年以来，EUV光刻技术已参与了超过400万个晶圆。该公司积累了丰富的经验，比其他制造商拥有更多的专业知识，领先其竞争对手一到两年。据报道，三星的1znmDRAM第三代存储器已经使用了一层EUV，第四代1anm将增加到4层。 EUV光刻机的参与可以减少多次曝光过程并提供过程精度，从而可以减少生产时间，降低成本并提高性能。虽然SK海力士，美光等也在尝试EUV，但是层数对效率的提高并不明显，也就是说，单位成本很高，毕竟购买EUV光刻机要花费10亿元。三星在这方面具有优势，因为它也有一个晶圆厂，并且“东方不光明，西方不光明”的利用率很高。光刻机很高。负责编辑AJX