目前，EUV光刻机的部署和安装主要在台积电和三星的代工厂中。但是，内存制造商也开始起步。以前，SK Hynix计划在年底建造M16工厂，但德国CB的消息称，还将引进旧的M14工厂。 EUV光刻机将参与SK Hynix的第四代（1anm）存储器。在存储器行业中，当前一代的部门为1x，1y，1z和1a。 EUV光刻机的参与可以减少多次曝光过程并提供过程精度，从而可以减少生产时间，降低成本并提高性能。当然，EUV光刻机真的很好吃。唯一的制造商ASML（荷兰）的生产能力极为有限。尽管一个单位的成本约为10亿元，但仍供不应求。这次，新老工厂都处于最高位置。我不知道有多少SK海力士已从ASML确认。此外，该报告称三星将在2021年开始生产EUV工艺生产的内存，这是之前发布的16Gb容量LPDDR5。