比利时的MEMS代工厂X-Fab已开发出一种基于硅的微流体原型平台，该平台将于明年初正式启动。 X-Fab开辟了一系列功能，可直接在CMOS芯片上构建微流体结构。这将允许开发用于芯片实验室，DNA测序和合成，稀有细胞分选，医学植入物，药物研究，药物管理，食品安全性测试以及许多其他应用的新设计和设备。 “ Microfluidics代表了一个非常具有挑战性的专用市场，需要完全优化的定制解决方案和大量投资。” X-Fab产品营销经理Oliver Foellmer说。 “根据我们与该领域客户的讨论，很明显，他们需要能够从单一来源获得全面的原型支持。多亏了我们新的微流体原型平台，我们正在帮助他们加快开发周期。降低财务门槛，使客户可以着手进行创新的基于硅的微流体项目，而不受其规模或能力的限制。”设计人员将可以访问开发基于芯片的微流体子系统所需的所有关键要素-使他们能够更快地完成项目的原型设计阶段，并可以开始考虑批量生产。通过将许多元素捆绑在一起，不再需要与许多不同的供应商合作，从而最大程度地减少了通常由复杂的多供应商项目引起的集成问题。该服务基于X-Fab的XH035350纳米高压模拟/混合信号CMOS工艺，该工艺针对需要高信噪比的应用进行了优化，并且适用于各种微流体后处理活动。这些工作可以在其位于德国的MEMS制造基地进行，并使用多层掩模（MLM）技术来降低总体原型设计成本。 X-Fab开发了一系列标准工艺模块，以通过平面钝化和钝化孔为微流体集成CMOS晶圆进行初步准备。这些模块还包括附加的贵金属电极（金或铂）作为流体样品的界面，干膜抗蚀剂的顶层（可以在其中划出微流体通道）以及可选的玻璃盖晶片。 X链合作伙伴网络中的设计，测试和统包系统的供应商也可以进入，以便在创建定制芯片方面专业知识有限的客户可以访问相关服务。客户可以直接获得使用X-FAB的新的基于硅的微流体原型平台的权利。首次原型操作计划于2021年第一季度初进行。原始标题：X-Fab开发了基于硅的微流原型平台文章来源：[微信公众号：MEMS]欢迎大家关注！请指出转载文章的来源。